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API激光幹涉儀線性定位誤差測量的詳細資料:
API激光幹涉儀(yi) 線性定位誤差測量
舊的方法:
激光頭安裝在機床工作台之外,機床所受的震動幹擾和激光頭的不同,產(chan) 生測量誤差。特別是在帶有空氣彈簧減震係統的機器上
三點對光,操作複雜
依靠電腦上的光強條的強弱來對, 餘(yu) 弦差較大
API XD幹涉儀(yi) 的測量方法:
一次安裝也可同時測量其它五個(ge) 參數;
可利用電腦中的直線度實時顯示,
數字化去除餘(yu) 弦差,測量準確;
兩(liang) 點調光,對光迅速
主要特點:
一次安裝能測量6項精度指標
包括線性定位誤差、 XX及YY兩(liang) 個(ge) 方向直線度、
偏擺角、俯仰角、滾動角
把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩(liang) 軸間垂直度
兩(liang) 點調光線. 無需三腳架. 測量調整簡單快速
傳(chuan) 統激光幹涉儀(yi) 測量20項精度指標(三軸),約需3天的時間; API幹涉儀(yi) 隻約需半天!
測量直線度/小角度/垂直度/轉台時, 不怕斷光, 可當自準直儀(yi) 用, 用於(yu) 機床裝配調試
技術參數 5D/6D標準型: | 5D/6D精密型: 1. 線性:0.2ppm 2. 測量範圍:25米 3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值 4. 大範圍:400角秒 5. 滾動角精度:0.5角秒 6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值 7. 大範圍:300um 8. 垂直度精度:0.5角秒 9. 溫度:0.1攝氏度 10.濕度:3% 11.壓力:0.3mmHg |
5D/6D高精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測量範圍:根據用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒
4. 大範圍:500角秒
5. 滾動角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.2+0.05/m)um
7. 大範圍:100um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg