激光幹涉儀機床校準設備的詳細資料：

機床校準設備

激光器的出現，使古老的幹涉技術得到迅速發展，激光具有亮度高、方向性好、單色性及相幹性好等特點，激光幹涉測量技術已經比較成熟。激光幹涉測量係統應用非常廣泛：精密長度、角度的測量如線紋尺、光柵、量塊、精密絲(si) 杠的檢測；精密儀(yi) 器中的定位檢測係統如精密機械的控製、校正；大規模集成電路設備和檢測儀(yi) 器中的定位檢測係統；微小尺寸的測量等。 
在大多數激光幹涉測長係統中，都采用了邁克爾遜幹涉儀(yi) 或類似的光路結構。
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