5D/6DAPI激光幹涉儀的詳細資料：

API激光幹涉儀(yi) 型號：5D/6D

API激光幹涉儀(yi) 在雙軸同步測量中的應用

雙軸機床的同步性能測試，API公司隻需要借助本公司生產(chan) 的激光幹涉儀(yi) 即可做到A/B軸的同步性測量，XD-3D隻能實現前三個(ge) 參數的同步性測量，如果選擇XD-6D則可以完成六組主要同步性參數的測量。API大的優(you) 勢就在於(yu) 一次安裝，可同時完成以上所有同步參數的測量，是目前激光測量設備中唯1可以做到的檢測儀(yi) 器。

儀(yi) 器簡介：

5D/6D激光幹涉儀(yi) 是API的產(chan) 品，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個(ge) 誤差，包括1個(ge) 位置度誤差、2個(ge) 直線度誤差、3個(ge) 角度誤差。在通常情況下需要數天時間進行的測試，使用激光幹涉儀(yi) 隻需幾個(ge) 小時即可完成，實際應用結果表明，節省時間可達80%。該儀(yi) 器體(ti) 積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。6D激光幹涉儀(yi) 主要由穩頻激光器、幹涉儀(yi) 和6維傳(chuan) 感器組成，從(cong) 激光器發出的激光光束經過幹涉後，被6D傳(chuan) 感器內(nei) 的分光鏡分成三束，一束光經錐角反射棱鏡反向後返回幹涉儀(yi) 與(yu) 參考光束相幹產(chan) 生幹涉條紋，經光學相位探測器識別後進行電子記數，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳(chuan) 感器與(yu) 參考光束之間的相對位移由裝在傳(chuan) 感器內(nei) 的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳(chuan) 感器內(nei) 的小型光電測角儀(yi) 的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為(wei) 了保證激光光束的穩定性，測量儀(yi) 在結構的設計以及激光器的選擇方麵都做了仔細周密的考慮，以使測量儀(yi) 的橫向和角度漂移量都降低到小，從(cong) 而保證測量儀(yi) 的長期穩定性。測量儀(yi) 配有自動氣壓、環境溫度補償(chang) 器，自動校正環境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀(yi) 還配有專(zhuan) 門設計的多重數字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到小。

技術參數：

5D/6D標準型： 
1. 線性：0.5ppm 
2. 測量範圍：40米（1D可選80米） 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值 
4. 大範圍：800角秒 
5. 滾動角精度：1.0角秒 
6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值 
7. 大範圍：500um 
8. 垂直度精度：1角秒 
9. 溫度：0.2攝氏度 
10.濕度：5% 
11.壓力：1mmHg 

5D/6D精密型： 
1. 線性：0.2ppm 
2. 測量範圍：25米 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值 
4. 大範圍：400角秒 
5. 滾動角精度：0.5角秒 
6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值 
7. 大範圍：300um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg 

5D/6D高精密型： 
1. 線性：0.2ppm 
2. 測量範圍：根據用戶要求而定 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. 大範圍：500角秒 
5. 滾動角精度：0.5角秒 
6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. 大範圍：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg

主要特點：

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角 
2. 設計用於(yu) 安裝在機床主軸上的5D/6D傳(chuan) 感器 
3. 可選的無線遙控傳(chuan) 感器長的控製距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動等參數，並評估機床動態特性。 
5. 全套係統重量僅(jin) 15公斤，設計緊湊、體(ti) 積小，測量機床時不需三角架 
6. 集成幹涉鏡與(yu) 激光器於(yu) 一體(ti) ，簡化了調整步驟，減少了調整時間