多軸激光幹涉儀API XD Laser的詳細資料：

幹涉儀(yi) 類別：

1D激光主要可以測量定位誤差

3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）

5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角

XD激光測量係統是一台由外部計算機及其應用程序控製的激光測量儀(yi) 器。XD激光測量係統可以同時對六個(ge) 自由度上的參數進行測量，包括：線位移、水平直線度、垂直直線度、（水平麵內(nei) ）偏擺角、（垂直麵內(nei) ）俯仰角以及繞測量軸旋轉的滾擺角。

概述

    5D/6D激光幹涉儀(yi) 是API的產(chan) 品，一次安裝能夠同時測量線性軸的六個(ge) 誤差，包括1個(ge) 位置度誤差、2個(ge) 直線度誤差、3個(ge) 角度誤差。在通常情況下需要數天時間進行的測試，使用API激光幹涉儀(yi) 隻需幾個(ge) 小時即可完成，實際應用結果表明，節省時間可達80%。

    該儀(yi) 器體(ti) 積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。6D激光幹涉儀(yi) 主要由穩頻激光器、幹涉儀(yi) 和6維傳(chuan) 感器組成，從(cong) 激光器發出的激光光束經過幹涉後，被6D傳(chuan) 感器內(nei) 的分光鏡分成三束，一束光經錐角反射棱鏡反向後返回幹涉儀(yi) 與(yu) 參考光束相幹產(chan) 生幹涉條紋，經光學相位探測器識別後進行電子記數，記錄準確長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳(chuan) 感器與(yu) 參考光束之間的相對位移由裝在傳(chuan) 感器內(nei) 的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳(chuan) 感器內(nei) 的小型光電測角儀(yi) 的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。

    為(wei) 了保證激光光束的穩定性，測量儀(yi) 在結構的設計以及激光器的選擇方麵都做了仔細周密的考慮，以使測量儀(yi) 的橫向和角度漂移量都降低到很小，從(cong) 而保證測量儀(yi) 的長期穩定性。測量儀(yi) 配有自動氣壓、環境溫度補償(chang) 器，自動校正環境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀(yi) 還配有專(zhuan) 門設計的多重數字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到非常小。

主要特點

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角 
2. 設計用於(yu) 安裝在機床主軸上的5D/6D傳(chuan) 感器 
3. 可選的無線遙控傳(chuan) 感器很長的控製距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動等參數，並評估機床動態特性 
5. 全套係統重量僅(jin) 15公斤，設計緊湊、體(ti) 積小，測量機床時不需三角架 
6. 集成幹涉鏡與(yu) 激光器於(yu) 一體(ti) ，簡化了調整步驟，減少了調整時間

技術參數（XD Laser 為(wei) 無線產(chan) 品，可選三種不同的準確性等級）