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api-6d幹涉儀的詳細資料:
api-6d幹涉儀(yi)
——同時測量線性軸的六個(ge) 誤差,包括1個(ge) 位置度誤差、2個(ge) 直線度誤差、3個(ge) 角度誤差
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API 6D激光幹涉儀(yi) 簡介:
api-6d幹涉儀(yi) 可以一次裝夾測量六個(ge) 參數包括定位精度、重複定位精度、直線度及角度。用於(yu) 數控機床和三座標測量機的標定及校準。5D/6D激光幹涉儀(yi) 是美國API的產(chan) 品,一次安裝能夠同時測量線性軸的六個(ge) 誤差,包括1個(ge) 位置度誤差、2個(ge) 直線度誤差、3個(ge) 角度誤差。在通常情況下需要數天時間進行的測試,使用API激光幹涉儀(yi) 隻需幾個(ge) 小時即可完成。實際應用結果表明,節省時間可達80%。激光幹涉儀(yi) 5D/6D儀(yi) 器體(ti) 積小,重量輕,可以直接安裝到機床導軌上。
6D激光幹涉儀(yi) 的組成:
6D激光幹涉儀(yi) 主要由穩頻激光器、幹涉儀(yi) 和6維傳(chuan) 感器組成,從(cong) 激光器發出的激光光束經過幹涉後,被6D傳(chuan) 感器內(nei) 的分光鏡分成三束,一束光經錐角反射棱鏡反向後返回幹涉儀(yi) 與(yu) 參考光束相幹產(chan) 生幹涉條紋,經光學相位探測器識別後進行電子記數,記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束,傳(chuan) 感器與(yu) 參考光束之間的相對位移由裝在傳(chuan) 感器內(nei) 的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳(chuan) 感器內(nei) 的小型光電測角儀(yi) 的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。為(wei) 了保證激光光束的穩定性,API 5D/6D激光幹涉測量儀(yi) 在結構的設計以及激光器的選擇方麵都做了仔細周密的考慮,以使測量儀(yi) 的橫向和角度漂移量都降低到zui小,從(cong) 而保證測量儀(yi) 的長期穩定性。配有自動氣壓、環境溫度補償(chang) 器,自動校正環境變化對激光波長及長度測量的影響,測量儀(yi) 還配有專(zhuan) 門設計的多重數字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到zui小。
XD美國激光幹涉儀(yi) 特點:
設計緊湊、體(ti) 積小,測量機床時不需三角架。集成幹涉鏡與(yu) 激光器於(yu) 一體(ti) ,簡化了調整步驟,減少了調整時間。
api-6d幹涉儀(yi) 係列激光幹涉儀(yi) 的突出特點:
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設計用於(yu) 安裝在機床主軸上的5D/6D傳(chuan) 感器
3. 可選的無線遙控傳(chuan) 感器zui長的控製距離可到25米
4. API激光幹涉儀(yi) 可測量速度、加速度、振動等參數,並評估機床動態特性。
5. 全套係統重量僅(jin) 15公斤,設計緊湊、體(ti) 積小,測量機床時不需三角架
6. 集成幹涉鏡與(yu) 激光器於(yu) 一體(ti) ,簡化了調整步驟,減少了調整時間
api-6d幹涉儀(yi) 激光幹涉儀(yi) 精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測量範圍:25米
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值
4. zui大範圍:400角秒
5. 滾動角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值
7. zui大範圍:300um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg
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